使用VPSA变压吸附制氧工艺制取氧气，既能优于PSA制氧工艺能耗高、维护率高等特点，又比深冷空分使用方便，同时还能满足臭氧发生器对氧气源纯度大于91%露点小于-60等要求，因此VPSA变压吸附制氧工艺非常适合为臭氧发生器提供氧气源。目前供给广州石化1#200万吨/年催化裂化装置烟气脱硫脱硝项目配套的VPSA变压吸附制氧设备也在积极生产当中。

随着中国政府对削减工业行业大气污染物排放力度的不断加大，企业急需寻找更有效的应对方案。采用臭氧脱硝技术可得到较高的NOX脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX浓度和NO、NO2的比例下保持。目前国内石化行业已经率先使用臭氧脱硝，国内金陵石化、茂名石化、湛江石化、广州石化等都在使用该方案，并且使用效果非常明显。昆山某公司采用VPSA变压吸附制氧技术为臭氧发生器提供稳定可靠的氧气源，不但设备使用方便还为企业带来了十分可观的经济效益和社会效益。