20世纪90年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业，中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜 ，而靶材是制作薄膜的关键，品质的好坏对薄膜的意义重大。目前高等品质靶材主要由:日本、德国和美国生产，我国靶材产业起步较晚，在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距，国内也有许多大学及研究机构对靶材积极投入了大量钻研与开发，经过这几年的发展也涌现了一批在靶材行业较好的公司和院校。在国内占据了大部分中等和要求不高的靶材市场份额。

    在装饰镀膜中也有着广泛的应用,获得光亮、美观、;价廉的塑料，陶瓷表面金属化制品。广泛应用于汽车、摩托车灯具、工艺美术、装潢装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、化妆品、手机、闹钟、女式鞋后跟等领域。ITO有着多种功用,首先ITO为高带隙材料,可用作光电池的光入射窗口,又可作为收集光电流的电极,在基底半导体Si上形成势垒作为SIS结的一层以及抗反射层。铟矿资源集中分布在中国、玻利维亚、俄罗斯等国。日韩美是重要的铟消费国,也是我国原生铟的主要***国。高纯溅射靶材市场规模将超过160亿美元，年复合增长率达13%。近年来，磁控溅射靶材是国家鼓励和发展的新材料产业。对于ITO靶材，我国有铟资源优势。

    而Low-E膜层厚度仅为隧穿的10%～20%。合理考虑膜层所含元素对数据的影响，可以大致判断基底玻璃在缺陷区域内的变化程度。(3)相比基片，由于镀膜引入了部分的Si，综合Ca/Na比值下降（镀膜材料中也不含有Ca），可以判断是Na含量超出基片正常值而导致缺陷处相应元素含量比值的大幅下降。氧化物靶材。?铜铟镓硒（CIGS）5N高纯铝靶光伏太阳能靶材靶材生产商对工业镀膜及相关制品加工中出现的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS进行观测。分析并比较缺陷/正常区域在形貌结构、组成上的差异，寻找缺陷成因，进而研发相应的生产及品质改进办法。（1）Low-E膜层中不含有Na，以基质中的Na作为标定物是相对稳定的。（2）电子束的隧穿达到约1.5m。不会随着膜系更改、膜层的而发生元素含量上的变化。陶瓷靶材。

    靶材，特别是高纯度溅射靶材应用于电子元器件制造的物理-气相沉积工艺（PVD）、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。所谓溅射，是制备薄膜材料的主要技术，也是PVD的一种。它通过在PVD设备中用离子对目标物进行轰击，使得靶材中的金属原子以一定能量逸出，从而在晶圆表面沉积，溅镀形成金属薄膜，其中被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料。称为溅射靶材。IGZO，氧化铟锡，氧化锌铝，AZO，ITO，氧化锡，二氧化锡，氧化锆，氧化钼，氧化钴，四氧化三钴，氧化亚钴，氧化银，氧化钙，等高纯氧化物。

    真空设备检修三要素的方案：1首先判断出起主要作用的是什么因素，找到问题的所在，从而采取相应的措施加以解决。2真空测量真空测量是指用特定的仪器、对某一真空设备空间内真空度高低的量度。因此真空测量仪表好坏直接影响设备正常运行。真空计的种类很多，大体上可分真空计和相对真空计两大类。凡通过测定物理参数直接计出气体压强的真空计称为真空计。通过测量与压强有关物理量，并进行计算得到压强值的真空计称为相对真空计。真空计精度较高，一般作为标准用，在实际生产中，大都使用相对真空计。

    为了防止在加热时电极过热致使密封，对电极通水冷却。电阻加热元件采用高熔点的金属钼片制成舟状，机械泵：机械泵是利用机械方法来获得低真空的主要设备，也是高真空机组的前级泵。机械泵主要有圆柱形定子、偏心转子和滑动翼片组成。机械泵不宜用于抽蒸汽；转动方向必须是顺时针方向；停止工作后要防止“返油”，故在抽气口装有电磁阀。扩散泵：当机械泵的极限真空不能满足工作要求时，通常采用油扩散真空泵来获得高真空。目前靶材市场主要分布于韩国、中国、日本，中国有超过20家靶材生产企业，依靠国内的巨大市场潜力和利好的产业政策，以及产品价格优势，国内的靶材制造商已经在国内市场占有一定的市场份额，并逐步在个别细分领域抢占了部分国际大厂的市场空间。